Model Hubungan Ketebalan Terhadap Massa Sumber Pada Sintesis Nanolayer Al menggunakan Evaporasi Termal


Andhy Setiawan(1*), Hasniah Aliah(2), Toto Winata(3)

(1) Program Studi Fisika FPMIPA Universitas Pendidikan Indonesia, Indonesia
(2) Jurusan Fisika FST Universitas Islam Negeri Sunan Gunung Djati, Indonesia
(3) Program Studi Fisika FMIPA Institut Teknologi Bandung, Indonesia
(*) Corresponding Author

Abstract


Telah dilakukan sintesis nanolayer Aluminium (Al) di atas substrat menggunakan metoda evaporasi termal. Untuk menentukan ketebalan sampel dilakukan analisis citra hasil scanning electron microscope (SEM) menggunakan program ImageJ. Selain itu dilakukan juga analisis transmisi optik melalui nanolayer tersebut berdasarkan data transmitansi yang diperoleh dari hasil karakterisasi menggunakan spektrometer UV-Vis pada jangkau panjang gelombang 300-800 nm. Berdasaran hasil tersebut dapat ditentukan rasio ketebalan nanolayer yang terbentuk terhadap massa sumber yang digunakan. Untuk mengestimasi ketebalan nanolayer yang disintesis dengan metode ini dapat dilakukan dengan cara memformulasikan model hubungan antara massa sumber terhadap ketebalan nanolayer. Pemodelan dilakukan dengan cara fitting data ketebalan nanolayer yang diperoleh terhadap massa sumber yang dievaporasikan pada kurva linear dan kurva polinomial orde dua. Estimasi dilakukan juga dengan cara fitting data rasio terhadap massa sumber pada kurva linear. Hasil fitting ini, selain dapat digunakan untuk mengestimasi ketebalan nanolayer, dapat juga digunakan untuk mengestiamsi besarnya massa sumber minimum yang tidak dapat menghasilkan nanolayer pada substrat melalui proses evaporasi.


References


Civale, Y., Nanver, L. K., Hadley, P. & Goudena, E. J. G. Aspect of Silicon Nanowire Synthesis by Aluminum-Catalyzed Vapor-Liquid-Solid Mechanism. Nanotechnology XIII, 701–704 (2005).

Dupuis, A. C. The Catalyst in the CCVD of Carbon Nanotubes—a Review. Prog. Mater. Sci. L, 926–951 (2005).

Korgel, B. A., Hanrath, T. & Davidson, F. M. Vapor-Liquid-Solid Synthesis of Nanowires. Enciclopdia Chem. Process. I, 3191–3203 (2005).

Salhi, B., Grandidier, B. & Boukherroub, R. Controlled Growth of Silicon Nanowire on Silicon Surface. J Electron. XVI, 15–21 (2006).

Schulz, L. G. The Optical Constant of Silver, Gold, Copper, and Aluminum. J. Opt. Soc. Am. XLIV, 357–362 (1954).

Tuan, H. Y., Lee, D. C., Hanrath, T. & Korgel, B. A. Catalytic Solid-Phase Seeding of Silicon Nanowire by Nickel nanocrystals in Organic Solvent. Nano Lett. V, 681–684 (2005).

W. D. Callister, J. Materials Science and Engineering An Introduction. John Wiley Sons Inc (2007).

Wang, Y., Scemidt, V., Senz, S. & Gösele, U. Epitaxial Growth of silicon Nanowire Using an Aluminium Catalyst. Nat. Nanotechnol. I, 186–189 (2006).


Refbacks